鈣鈦礦蒸鍍裝備
真空過渡分為1000Pa、1Pa、10-4Pa三級,異于10Pa、10-4Pa兩級模式,最大優化羅茨泵在1000Pa~1Pa的抽氣效率,降低設備低真空段的泵組配置,減少設備能耗節約成本。
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累計裝機超500GW -
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